[发明专利]确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置在审
| 申请号： | 202111098337.7 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN114253087A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 江头信一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置。提供了从基板的多个压射区域中确定样本压射区域的集合的方法，在每个样本压射区域中标记的位置要被实际地测量。该方法包括：设定样本压射区域的集合的初始布置，以及向样本压射区域的集合添加在除了初始布置中的样本压射区域之外的压射区域之中的如下压射区域，在该压射区域中指示出使用估计模型获得的标记的位置的测量值的估计值的不确定度的值超出预定阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 样本 区域 集合 方法 信息处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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