[发明专利]一种(Inx在审

专利信息
申请号: 202111102849.6 申请日: 2021-09-18
公开(公告)号: CN113921627A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 张洪良;陈文山;徐翔宇;况思良;张佳业 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/0392;H01L31/09;H01L31/18;C23C14/34
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张松亭;姜谧
地址: 361000 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种(InxGa1‑x)2O3日盲紫外光电探测器及其制备方法,其光灵敏性达到108,探测率达到2×1016‑5×1016Jones,包括一c‑Al2O3衬底,该c‑Al2O3衬底上通过PLD生长形成一厚度为0.1‑0.5μm的(InxGa1‑x)2O3薄膜,该(InxGa1‑x)2O3薄膜上设有叉指电极,其中0.05≤x≤0.1。本发明将Ga2O3和In2O3合金化,In的引入有效降低了器件的暗电流,提高了器件的光响应,使器件的光电性能得到大幅度提升,实现超高灵敏度和超高探测率,使得本发明所制备的器件对日盲光具有极高灵敏性,能够识别极其微弱的日盲紫外信号,不受可见光影响,具备全天候型的日盲紫外光探测能力。
搜索关键词: 一种 in base sub
【主权项】:
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