[发明专利]一种弯月形透镜干涉检验光路的调整方法在审
| 申请号： | 202111104217.3 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113820104A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 程强;胡海翔;李龙响;罗霄;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种弯月形透镜干涉检验光路的调整方法，调整CGH使激光干涉仪和CGH对准，保持激光干涉仪和CGH的对准状态不变，根据CGH投射在辅助球面的辅助球面十字线的位置，对辅助球面进行调整使得CGH上检测辅助球面的对准区域的条纹调整至零条纹且没有明显的离焦；根据CGH投射出的弯月形透镜十字线，调整弯月形透镜，使CGH上检测弯月形透镜凹面中心附近的对准区域的条纹调整至零条纹且没有明显的离焦。该方法采用同一片CGH实现干涉检验光路中所有元件的基准统一，避免了基准传递过程中导致的误差，各元件调整对准过程均分为粗对准和精对准，调整过程方便、快速，整个调整过程成本低、精度高、通用性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弯月形 透镜 干涉 检验 调整 方法 | ||
【主权项】：
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