[发明专利]锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202111104433.8 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113819846B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李文昊;刘兆武;王玮;刘林;姜珊;于宏柱;姜岩秀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法，其中锥面衍射式光栅位移测量装置包括：用于发出测量光束的激光二极管、准直透镜、偏振分束棱镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、相移测量单元；本发明根据锥面衍射原理，优化了光栅位移测量装置的光学结构，减少了四分之一波片的使用，避免了由于四分之一波片加工与安装误差造成的非线性误差，测量精度高；本发明装置包含反射装置，使得测量光束可再次经过被测光栅，保证了更高倍数的光学细分。 | ||
| 搜索关键词： | 锥面 衍射 光栅 位移 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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