[发明专利]一种绿光氮化物激光电池外延片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种绿光氮化物激光电池外延片及其制备方法，属于激光电池外延片技术领域。外延片包括图案化的Al2O3衬底，Al2O3衬底顶面设置有AlN成核层，AlN成核层顶面设置有GaN本征层，GaN本征层顶面设置有n‑GaN层，n‑GaN层顶面设置有In0.04Ga0.96N/GaN超晶格层，In0.04Ga0.96N/GaN超晶格层顶面设置有u‑GaN层，u‑GaN层顶面设置有In0.26Ga0.74N/GaN多量子阱层，In0.26Ga0.74N/GaN多量子阱层顶面设置有Al0.1Ga0.9N势垒层，Al0.1Ga0.9N势垒层顶面设置有p‑GaN层，本发明绿色激光电池外延片不仅采用了图案化的蓝宝石衬底及InGaN/GaN超晶格结构，降低了位错密度，提高了光吸收率，而且在InGaN/GaN量子阱层后生长了AlGaN势垒层，减少了电子与空穴在阳极侧的复合，从而获得结晶质量较高的外延片。