[发明专利]体声波谐振器和滤波器有效
| 申请号： | 202111105960.0 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113810010B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;谷曦宇;国世上;高超;邹杨;徐沁文 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种体声波谐振器和滤波器，涉及谐振器技术领域。该体声波谐振器包括具有空腔的衬底和依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极；底电极、压电层和顶电极分别在衬底上的正投影的重合区域形成谐振区域；在谐振区域内，底电极和顶电极分别在衬底上的正投影的轮廓形状为由M条弧线首尾连接形成的封闭图形，且封闭图形为轴对称图形；其中，M为大于或等于2的整数，且弧线包括朝向谐振区域的中心凹设的内凹弧线和背向谐振区域的中心外凸的外凸弧线。该体声波谐振器能够减少声波简并，从而减少杂波谐振峰、减少伪模态，以获得较纯净的大机电耦合系数的主模。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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