[发明专利]双转换增益图像传感器及其制作方法

摘要

本发明提供一种双转换增益图像传感器。该双转换增益图像传感器包括半导体衬底，该半导体衬底包括相互隔离的第一有源区和第二有源区；浮置扩散区域设置于第一有源区中；辅助电容设置于第二有源区，用于调节浮置扩散区域的转换增益；其中，在第二有源区的半导体衬底中开设有若干条沟槽，该沟槽的内表面覆盖有介电层，辅助电容的上极板覆盖介电层且填充每条沟槽，与辅助电容的上极板相对的半导体衬底作为辅助电容的下极板。辅助电容的上极板填充每条沟槽，可以提高辅助电容的电容值，从而能够满足图像传感器更大的像素满阱容量的需求，提高图像传感器的动态范围。本发明还提供该双转换增益图像传感器的制作方法。