[发明专利]一种串并联耦合的多自由度光学元件精密调节平台有效
| 申请号： | 202111114453.3 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113917642B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 吕涛;阮萍;郝伟;李创 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种串并联耦合的多自由度光学元件精密调节平台，解决乐传统的光学元件调节平台无法同时兼顾多自由度的精密调节，以及调节平台自身低复杂度、高可靠性的问题，该平台包括支撑座、一级调整机构以及二级调整机构；通过一级调整机构中的第一微纳级驱动组件可驱动光学元件沿Z方向平移，以及绕X，Y两个方向旋转，通过二级调整机构中的第二微纳级驱动组件可驱动光学元件沿X，Y两个方向平移，从而实现光学系统中光学元件空间位置多维高精度调节，进而提高光学系统性能指标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 串并联 耦合 自由度 光学 元件 精密 调节 平台 | ||
【主权项】：
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