[发明专利]一种具有探伤功能的晶圆清洗设备在审
| 申请号： | 202111115735.5 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113926757A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;霍召军 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/02;F26B21/00;G01N29/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有探伤功能的晶圆清洗设备，涉及晶圆清洗设备技术领域。该具有探伤功能的晶圆清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱顶部设有顶盖，并且清洗箱两侧壁顶部和顶盖两侧壁底部均焊接有托板，同时两组托板通过电动推杆相连，所述清洗箱和顶盖内腔中部均安装有隔板，所述隔板用于将清洗箱和顶盖分隔成两个工作舱室，所述隔板两侧分别安装有多组第一输送辊和多组第二输送辊，并且两组第一输送辊之间设有清洗辊，所述清洗箱内腔底部和顶盖内腔顶部一侧均安装有喷水组件，本发明可对晶圆进行反复的清理，从而提高晶圆的清洗质量，并且又能对清洗后的晶圆进行探伤处理，方便工作人员及时调整或更换清洗辊，提高了晶圆清洗质量和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 探伤 功能 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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