[发明专利]一种ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液有效
| 申请号： | 202111115873.3 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113969173B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李泰亨;申阳;高峰;苗发虎;白晓鹏 | 申请（专利权）人： | 易安爱富（武汉）科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 武汉红观专利代理事务所(普通合伙) 42247 | 代理人： | 王昌亮 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液，以重量百分比为100％计算，所述蚀刻液包括磷酸20‑50％、硝酸3‑8％、硫酸1‑3％、醋酸10‑20％、抑制剂0.5‑2％和清洗剂0.1‑1.5％，余量为纯水；所述抑制剂包括无机钾盐和有机膦酸钠盐；所述清洗剂为纤维素交联聚合物，所述纤维素交联聚合物为纤维素与聚羧酸类化合物交联而得。纤维素交联聚羧酸类化合物，含有大量的羧基、羟基以及聚合烯酸，一方面与银离子螯合，使银离子沉淀，可减缓银蚀刻速率，另一方面纤维素交联聚合物与银离子和ITO螯合后，在形成沉淀的同时，还将金属离子从溶液中脱离出来，从而有效去除蚀刻后Ag和ITO残渣。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito ag 复合 金属 薄膜 蚀刻 | ||
【主权项】：
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