[发明专利]液体排出头、液体排出装置、以及致动器在审

专利信息
申请号: 202111120080.0 申请日: 2021-09-24
公开(公告)号: CN114312026A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 古池晴信;中山雅夫;清水稔弘;山崎泰志 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/14 分类号: B41J2/14
代理公司: 北京金信知识产权代理有限公司 11225 代理人: 苏萌萌
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种液体喷出头、液体喷出装置、以及致动器。其能够提高绝缘体膜的界面的强度并提高振动板的强度。液体喷出头具备压电元件和振动板,振动板通过压电元件的驱动而进行振动,且包含含有SiO2的第一层、以及层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层具有作为与第一层相接的区域的界面区域、及作为隔着界面区域而与第一层为相反侧的区域的表层区域,在将针对第二层的(‑211)晶面的取向程度设为第一强度、将针对第二层的(‑111)晶面的取向程度设为第二强度、将针对第二层的(002)晶面的取向程度设为第三强度时,界面区域可以具有第一强度大于第二强度、且第一强度大于第三强度的区域。表层区域可以具有第一强度大于第三强度、且第二强度大于第三强度的区域。
搜索关键词: 液体 出头 排出 装置 以及 致动器
【主权项】:
暂无信息
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