[发明专利]基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法有效
| 申请号： | 202111121299.2 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113916891B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;华子杰;刘辰光;陈刚 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学;江苏锐精光电研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤环形光照明模块、环形光扫描模块、明场共聚焦模块、暗场共焦布里渊频谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦及布里渊频谱立体测量可对样品机械性质进行三维检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光纤 环形 光束 暗场 共焦布里渊 显微 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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