[发明专利]涂层及其制备方法和器具在审
| 申请号： | 202111123110.3 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113913746A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 林海天;李立升;郑礼伟;陈松;杨恺 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴燕琳 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂层及其制备方法和器具，包括设置于与基底接触的第一涂层以及层叠在第一涂层之上的第二涂层，第二涂层包括立方结构的AlCrN相与金属镍相，其中金属镍相作为界面相包裹在纳米晶相AlCrN的周围；其中，第一涂层的材料组成以原子数量百分比含量计包括20％～35％的铝、10％～25％的铬以及40％～55％的氮；第二涂层的材料组成以原子数量百分比含量计包括20％～30％的铝、1％～10％的镍、10％～20％的铬以及45％～55％的氮。作为主要支撑的第二涂层金属镍相作为界面相包裹在第一涂层材料纳米晶相AlCrN的周围，形成纳米复合结构，可以制备出硬度与韧性俱佳的涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 及其 制备 方法 器具 | ||
【主权项】：
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