[发明专利]一种柔性镀膜设备的真空腔室有效
| 申请号： | 202111123914.3 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113862632B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 苏艳波;刘文丽;于文宝;尤田;吴子敬 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 张岭 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种真空腔室，尤其是涉及一种柔性镀膜设备的真空腔室，其技术方案要点是：一种柔性镀膜设备的真空腔室包括溅镀腔室、主鼓以及阴极组件；溅镀腔室内部设置有隔舱机构，隔舱机构包括前法兰和后法兰，前法兰与后法兰之间设置有隔舱，隔舱设置在主鼓的一侧并沿主鼓的轴线方向延伸；隔舱靠近主鼓的一侧开设有用于连通隔舱与溅镀腔室的溅镀窗口，溅镀窗口沿隔舱的长度方向延伸，且溅镀窗口的两端分别设置有能够隔舱长度方向滑动的遮板，遮板的宽度不小于溅镀窗口的宽度；达到了实现镀膜幅宽的调整，以适用于对不同幅宽规格的柔性薄膜的镀制的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 镀膜 设备 空腔 | ||
【主权项】：
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