[发明专利]一种具有低水平发散角的GaAs基大功率激光器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111125650.5 申请日: 2021-09-24
公开(公告)号: CN115864132A 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 赵凯迪;朱振;辛欣 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01S5/22 分类号: H01S5/22;H01S5/065
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 陈桂玲
地址: 250101 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种具有低水平发散角的GaAs基大功率激光器及其制备方法。所述激光器包括从下至上依次设置的N面金属电极接触层、衬底、P面金属电极接触层、N限制层、下波导层、量子阱结构的有源层、上波导层、P限制层、SiO2电流注入阻隔层和P面金属电极接触层;上波导层、P限制层、SiO2电流注入阻隔层和P面金属电极接触层共同形成脊条;所述脊条为两段结构相同的锥形宽度渐变脊条。本发明的激光器具有两段结构相同的锥形宽度渐变脊条,利用脊条宽度的渐变,实现了波导的滤波效应,进而降低了激光器的横模数量,实现了在不牺牲输出功率和效率的情况下降低水平发散角。并且在降低了阈值电流和工作电压的同时,提高了输出功率。
搜索关键词: 一种 具有 水平 发散 gaas 大功率 激光器 及其 制备 方法
【主权项】:
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