[发明专利]通过施加抽吸力和振动弯月面来清洁流体分配器的方法在审
| 申请号： | 202111126184.2 | 申请日： | 2021-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN114509913A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | C·W·科恩;倪起;近藤洋之;A·德林杰;S·C·沙克尔顿 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;B29C64/112;B29C64/209;B29C64/35;B33Y30/00;B33Y40/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 罗闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种清洁流体分配器的方法，用于在所述流体分配器的非接触式维护过程中分配材料。所述流体分配器包括设置在面板上的多个喷嘴。所述方法包括：使用抽吸装置将抽吸力施加到所述面板的表面上，所述抽吸装置从所述面板的一端平移到所述面板的相对端，使得所述多个喷嘴中的一部分喷嘴受到所述抽吸力。所述方法还包括振动受到所述抽吸力的所述一部分喷嘴的弯月面，以移除所述面板上积聚的至少一部分材料。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 施加 抽吸 振动 弯月面来 清洁 流体 分配器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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