[发明专利]一种快速聚合酶链式反应用硅基芯片的制造方法在审
| 申请号： | 202111130236.3 | 申请日： | 2021-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN113866145A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 熊胜虎;袁晓;柳翠;谢毅;肖自力;朱建伟 | 申请（专利权）人： | 联合基因生物科技（上海）有限公司;上海玻纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;C12M1/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 党蕾 |
| 地址： | 200092 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及核酸检测芯片技术领域，尤其涉及一种快速聚合酶链式反应用硅基芯片的制造方法，于单晶硅晶圆片上沉积氮氧化硅膜；开窗及形成沟道得到预处理的晶圆片，进行湿法刻蚀，湿法刻蚀后的晶圆片具有湿法刻蚀沟道；对湿法刻蚀后的晶圆片进行清洗，采用玻璃盖片对清洗后的晶圆片进行密封键合；对键合后的晶圆片进行切割获得核酸检测芯片。本发明使得聚合酶链式扩增反应的时间大为缩减，且沉积的氮氧化硅膜能够抵抗后续工艺中碱性溶液的腐蚀，并且不需要额外的清洗工艺去除，可以保证玻璃盖片与芯片基材具有足够强度，不会出现剥离现象，还具有减少反射光对荧光测试的干扰问题，提高测试的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 聚合 链式 应用 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】：
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