[发明专利]气体清除设备、方法、装置、控制系统及存储介质有效
| 申请号： | 202111132439.6 | 申请日： | 2021-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN113871282B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 刘浩 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 朱影 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种气体清除设备、方法、装置、控制系统及存储介质，气体清除设备包括箱体、分隔部、抽气装置、控制单元和检测装置。箱体内部具有容置空间，分隔部设置于箱体内，容置空间被分隔部分隔为第一容置空间和第二容置空间。分隔部设置有连通第一容置空间和第二容置空间的通气部。抽气装置与箱体的第二容置空间连通，控制单元与抽气装置电连接。检测装置被设置为检测晶圆模组的气体残余参数，检测装置与控制单元电连接。本公开中利用分隔部以及设置于侧部的抽气装置，形成气体流动通道，有效去除晶圆模组表面的残余气体。同时，设置检测装置辅助抽气装置，检测晶圆模组的气体残余参数，保证晶圆模组的残余气体都能够被清除。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 清除 设备 方法 装置 控制系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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