[发明专利]一种用于同时碳化不同尺寸钽坩埚的石墨加热器及使用方法在审
| 申请号： | 202111132906.5 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN113846383A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B23/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 | 代理人： | 王艳萍 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于同时碳化不同尺寸钽坩埚的石墨加热器及使用方法，本发明涉及石墨加热器及使用方法。本发明是要解决现有的钽坩埚的碳化过程周期时间长、碳化效率低的技术问题。本发明的用于同时碳化不同尺寸钽坩埚的石墨加热器包括上盖、中间体、至少一个中盖和下盖；其中中间体上设置至少一个连接体；每个连接体与一个中盖连接。用法：向中盖底部加入碳粉，再放入待碳化的钽坩埚，填满碳粉，连接到连接体上，同样将待碳化的钽坩埚埋在下盖的碳粉中；继续填入碳粉，将上盖、中间体与下盖连接，再将组装完毕的石墨加热器，放入炉中碳化，得到碳化完全的碳化钽坩埚。本发明可以在一次碳化两个或两个以上不同尺寸的钽坩埚，提高了碳化效率，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 同时 碳化 不同 尺寸 坩埚 石墨 加热器 使用方法 | ||
【主权项】：
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