[发明专利]硅棒切磨一体机在审
申请号: | 202111132965.2 | 申请日: | 2021-09-27 |
公开(公告)号: | CN114643652A | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 卢建伟;潘雪明;钱春军;曹奇峰;李鑫 | 申请(专利权)人: | 上海日进机床有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;B24B27/00;B24B41/06;B24B41/00;B24B5/50;B24B5/04 |
代理公司: | 上海明伦知识产权代理事务所(普通合伙) 31369 | 代理人: | 张明 |
地址: | 201601 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开一种硅棒切磨一体机,包括机座、切割装置、研磨装置以及硅棒转换装置,其中,切割装置包括第一切割单元、第二切割单元、以及调距单元,所述第一切割单元包括两条正交的第一切割线锯,所述第二切割单元包括两条正交的第二切割线锯,所述调距单元中更包括第一方向调距单元和第二方向调距单元,利用第一方向调距单元可调整第一切割单元和第二切割单元中至少一者在第一方向上的位置,利用所述第二方向调距单元可调整第一切割单元和第二切割单元中至少一者在第二方向上的位置,调整相应的切割单元中切割线锯的位置,以实现对硅棒的切割量控制,从而可根据生产工艺要求对不同尺寸的待切割的硅棒进行切割和/或切割出不同尺寸的已切割的硅棒。 | ||
搜索关键词: | 硅棒切磨 一体机 | ||
【主权项】:
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