[发明专利]一种快速响应的静电吸附装置及静电吸附方法有效
| 申请号： | 202111135729.6 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN113928857B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 漆明净;杨翔宇;闫晓军;刘志伟 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | B65G47/92 | 分类号： | B65G47/92 |
| 代理公司： | 浙江维创盈嘉专利代理有限公司 33477 | 代理人： | 刘亚竹;龚子雄 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种快速响应的静电吸附装置及静电吸附方法，包括静电吸附单元(30)，供电单元，所述供电单元包括供电电容(10)；解吸单元，所述解吸单元包括平行极板(20)和导电悬臂梁(24)结构，在吸附操作时，供电电容(10)快速的向静电吸附单元(30)供电，而解吸操作时，平行极板(20)和导电悬臂梁(24)结构能快速将静电吸附单元(30)的电荷消耗掉，从而实现快速解吸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 响应 静电 吸附 装置 方法 | ||
【主权项】：
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