[发明专利]一种复合结构的垂直氧化镓异质结二极管及其制作方法在审
| 申请号： | 202111140212.6 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113871488A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 周弘;董鹏飞;张进成;刘志宏;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/45;H01L29/06;H01L21/34;H01L21/425 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种复合结构垂直氧化镓异质结二极管，主要解决现有氧化镓导热性差、击穿电压高，且与低电阻不可兼得的问题。其自下而上包括阴极电极、n‑Ga |
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| 搜索关键词： | 一种 复合 结构 垂直 氧化 镓异质结 二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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