[发明专利]一种提高测量范围和全量程精度的风速风向传感器有效
| 申请号： | 202111142905.9 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113884701B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 齐博;秦明;王振军;易真翔;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 秦秋星 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高测量范围和全量程精度的风速风向传感器，首先通过离子注入制备加热元件、测温元件、硅压阻等敏感元件。然后双面氧化硅片并淀积氮化硅做钝化层保护，硅片背面开窗并腐蚀形成背腔与硅薄膜。最后去除氮化硅保护层后刻蚀引线孔，溅射金属并剥离多余部分实现金属引线和电极。此方法通过在硅薄膜上同时制备加热元件、测温元件以及硅压阻，并在芯片上方加装导风板以实现风压测量，以弥补热分布测量量程低、高风速测量灵敏度低的缺点，有效提升了传感器测量范围及全量程精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 测量 范围 量程 精度 风速 风向 传感器 | ||
【主权项】：
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