[发明专利]一种二维双模式MEMS风速风向传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202111143985.X | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113933535B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;谢雨珏;秦明;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 唐少群 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维双模式MEMS风速风向传感器及其制备方法，传感器包括传感器芯片部分和测控电路，传感器芯片部分基于热阻和压阻两部分，测控电路系统基于惠斯通电桥结构。热阻工作在自加热模式，风引起芯片表面温度场的不均匀分布，测量四个热阻的阻值变化可获得低速风速和风向信息；压阻测得风速引起的悬臂梁形变获得高速风速和风向信息。相较于现有技术，本发明提出了新的基于热式、压阻式的二维风速风向传感结构与检测过程，解决了热式风速传感器高风速下饱和无法测量的问题，此外，将热阻与压阻整合在同一悬臂梁上，结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 双模 mems 风速 风向 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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