[发明专利]一种生长铋碲基合金外延薄膜的设备及方法在审
| 申请号： | 202111144596.9 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113897667A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 徐桂英;张斌;杨全鑫;南博航;周小靖;邓浩;史然;张光兵 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B15/30;C30B29/52 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
一种生长铋碲基合金外延薄膜的设备及方法，属于温差电领域。实验装置主要包含加热装置、密封装置和提拉旋转装置。加热装置能实现精确智能控制升温与降温；密封装置起到保护成膜环境密封性的作用；提拉旋转装置为样品台和衬底提供旋转和提拉的动力。成膜工艺参数主要包含衬底选择、根据相图选定母液成分并确定母液熔点和结晶点、寻找适当转速，冷却速度和提拉速度等。高性能的(Bi |
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| 搜索关键词： | 一种 生长 铋碲基 合金 外延 薄膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
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