[发明专利]一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉在审
| 申请号： | 202111146606.2 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113862791A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 徐鹏;张婉婉 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06;C30B15/14;C30B15/30;C30B15/20 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 沈寒酉;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市市辖*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉，所述拉晶炉包括限定出热处理室的加热器，所述加热器在所述拉晶炉中设置成使得，所述单晶硅棒能够通过沿着拉晶方向移动而进入到所述热处理室中。通过使用本发明实施例的拉晶炉，在单晶硅棒被拉制出之后就继续在拉晶炉中对单晶硅棒进行热处理，由于热处理室就设置在拉晶炉内，不需要对硅棒进行转移运送，而且可以在拉晶炉内对整根单晶硅棒进行热处理，因此大大提高了热处理的效率，另外，由于是对单晶硅棒而非晶片进行热处理，因此避免了晶片热处理过程中的交叉污染以及由于晶片与晶舟接触可能造成的晶格滑移位错问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 拉制 单晶硅 拉晶炉 | ||
【主权项】：
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