[发明专利]一种高纯及超纯气体高保真取样装置和方法在审

专利信息
申请号: 202111146625.5 申请日: 2021-09-28
公开(公告)号: CN113804518A 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 程冰冰;程臣;周红艳;徐春波;李磊 申请(专利权)人: 武汉船用电力推进装置研究所(中国船舶重工集团公司第七一二研究所)
主分类号: G01N1/24 分类号: G01N1/24
代理公司: 武汉凌达知识产权事务所(特殊普通合伙) 42221 代理人: 刘念涛;宋国荣
地址: 430064 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种高纯及超纯气体高保真取样装置,包括耐高压储气瓶、真空发生器、三通阀、第一微量调节阀、第二微量调节阀、压力表以及第一至第四管路;还公开了其取样方法,通过三通阀的切换使得第四管路与第二管路相通,利用真空发生器将样品气作为引射介质形成负压区,将耐高压储气瓶内的空气吸走从第四管路排出,形成较低的真空度,实现抽真空置换过程;通过三通阀的切换使得第四管路与第三管路相通,实现进气采样过程;将取样装置第一管路与分析仪器连接,打开微量调节阀调节进样完成分析过程。本发明只需一次真空置换即可完成采样,提高了分析效率,瓶内真空度量化,提高了平行采样的一致性,抽真空过程无需电耗,适合无电野外环境等,扩大了适用范围。
搜索关键词: 一种 高纯 气体 高保真 取样 装置 方法
【主权项】:
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