[发明专利]一种基于改进稀疏样本一致性的原子力显微镜图像自适应校正方法有效
| 申请号： | 202111148015.9 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113917191B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 武毅男;常迎澳;方勇纯;赵飞;樊志;刘存桓 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | G01Q60/30 | 分类号： | G01Q60/30;G01Q40/02 |
| 代理公司： | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于改进稀疏样本一致性的原子力显微镜图像自适应校正方法。本发明设计了一种自适应的图像校正算法，该算法包括数据预处理和直线拟合两个步骤，能够自动生成最优拟合结果来匹配原子力显微镜扫描每条轮廓线的基准线，在此基础上，通过从畸变图像中减去拟合直线来校正图像的畸变；针对垂直漂移和虚假斜坡严重影响原子力显微镜成像质量的问题，利用本发明所设计的图像校正算法，能够准确模拟样本形貌图像截面剖面中的垂直漂移和虚假斜坡，从而实现对图像畸变的有效校正。实验结果表明，本发明所设计的图像校正算法精度高、鲁棒性强，利用该算法能够有效消除垂直漂移和虚假斜坡导致的图像畸变，从而提升原子力显微镜的成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 改进 稀疏 样本 一致性 原子 显微镜 图像 自适应 校正 方法 | ||
【主权项】：
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