[发明专利]一种纳米多孔氮化铌薄膜光电探测器红外光响应设计方法

摘要

本发明公开了一种纳米多孔氮化铌薄膜光电探测器红外光响应设计方法，包括：使用Bruggeman等效模型将纳米多孔NbN薄膜等效为相同厚度的均匀薄膜，得到纳米多孔NbN薄膜的等效模型；基于纳米多孔NbN薄膜的等效模型，设置纳米多孔NbN薄膜探测器待优化的基本结构，计算加载纳米多孔NbN薄膜的该探测器红外波段的光响应特性；采用粒子群优化算法对加载纳米多孔NbN薄膜光电探测器进行结构设计，得到纳米多孔NbN薄膜的光电探测器。以纳米多孔NbN薄膜的等效模型为基础，可以直接使用经典一维光学薄膜结构的设计方法处理原本的三维探测器结构设计问题，不仅能够很大程度上提高设计效率，同时能够保证较高的计算精度。