[发明专利]一种多功能硅片智能化检测平台及检测方法在审
| 申请号： | 202111150972.5 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113884507A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 徐立红 | 申请（专利权）人： | 徐立红 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G01N21/11 |
| 代理公司： | 长沙德恒三权知识产权代理事务所(普通合伙) 43229 | 代理人： | 丁茂林 |
| 地址： | 414000 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能硅片智能化检测平台，属于硅片检测领域。一种多功能硅片智能化检测平台，包括工作台和图像识别器，还包括：支撑架，固定连接在工作台上；其中，所述支撑架上固定连接有支撑板，所述图像识别器有三组且均固定连接在支撑板上；固定板，固定连接在工作台上；其中，所述固定板有两组，两组所述固定板之间转动连接有送料机构，所述固定板上转动连接有第一转杆和第二转杆；本发明使用简单，操作方便，通过第一凸轮和第二凸轮旋向相反的转动对硅片进行顶起，使硅片进行不同角度的倾斜，方便图像识别器对硅片上的裂痕进行识别，提高识别的准确度，减少不合格产品流出，提高产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 硅片 智能化 检测 平台 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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