[发明专利]具有通过绕两个旋转轴的压电致动倾斜的结构的微机电设备在审
| 申请号： | 202111152439.2 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114314497A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张昊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及具有可通过围绕两个旋转轴的压电致动倾斜的结构的微机电设备。例如，一种微机电设备，包括：固定结构，具有限定腔体的框架；可倾斜结构，弹性地悬置于腔体上方，并且在水平面中具有主延伸部；压电驱动的致动结构，可被偏置以使可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴进行期望旋转；以及支撑结构，与固定结构集成，并且从框架延伸到腔体中。杠杆元件通过弹性悬置元件在第一端处弹性地耦合到可倾斜结构，并且通过限定杠杆旋转轴的弹性连接元件在第二端处耦合到支撑结构。杠杆元件被弹性地耦合到致动结构，使得它们的偏置引起可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴的期望旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 通过 两个 旋转轴 压电 倾斜 结构 微机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司，未经意法半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111152439.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
