[发明专利]一种直拉法硅单晶新型扩肩方法在审
申请号: | 202111152823.2 | 申请日: | 2021-09-29 |
公开(公告)号: | CN115874274A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 景吉祥;李雪峰;高润飞 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/22 | 分类号: | C30B15/22;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种直拉法硅单晶新型扩肩方法,包括:实时检测单晶长度和单晶直径,计算所述单晶实际斜率;将所述单晶实际斜率与所述单晶最优斜率范围进行对比,若所述单晶实际斜率在所述单晶最优斜率范围内,则所述单晶的实际拉速为设定拉速;若所述单晶实际斜率不在所述单晶最优斜率范围内,则所述单晶的实际拉速发生变化,为拉速系数z×所述设定拉速,直至所述单晶扩肩完成。本发明的有益效果是在现有逻辑基础上增加扩肩斜率判断,将设定斜率与实时斜率进行范围的比对,能够快速准确的显示出炉内单晶扩肩的真实情况,并且根据实际情况进行拉速的调整,提高整体单晶的成活率,解决目前进行扩肩工艺时存在滞后性,导致单晶扩肩成活率低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉法硅单晶 新型 方法 | ||
【主权项】:
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