[发明专利]一种直拉法硅单晶新型扩肩方法在审

专利信息
申请号: 202111152823.2 申请日: 2021-09-29
公开(公告)号: CN115874274A 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 景吉祥;李雪峰;高润飞 申请(专利权)人: 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
主分类号: C30B15/22 分类号: C30B15/22;C30B29/06
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明提供一种直拉法硅单晶新型扩肩方法,包括:实时检测单晶长度和单晶直径,计算所述单晶实际斜率;将所述单晶实际斜率与所述单晶最优斜率范围进行对比,若所述单晶实际斜率在所述单晶最优斜率范围内,则所述单晶的实际拉速为设定拉速;若所述单晶实际斜率不在所述单晶最优斜率范围内,则所述单晶的实际拉速发生变化,为拉速系数z×所述设定拉速,直至所述单晶扩肩完成。本发明的有益效果是在现有逻辑基础上增加扩肩斜率判断,将设定斜率与实时斜率进行范围的比对,能够快速准确的显示出炉内单晶扩肩的真实情况,并且根据实际情况进行拉速的调整,提高整体单晶的成活率,解决目前进行扩肩工艺时存在滞后性,导致单晶扩肩成活率低的问题。
搜索关键词: 一种 直拉法硅单晶 新型 方法
【主权项】:
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