[发明专利]一种含氟化合物、包含其的冷却剂及用途在审

专利信息
申请号: 202111157519.7 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN113773176A 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 曾一铮;刘星;米欣 申请(专利权)人: 深圳市盈石科技有限公司
主分类号: C07C43/12 分类号: C07C43/12;C07C41/01;C07C41/42;C09K5/04
代理公司: 北京中知星原知识产权代理事务所(普通合伙) 11868 代理人: 张文静;艾变开
地址: 518045 广东省深圳市福田区福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种含氟化合物、包含其的冷却剂及用途。所述冷却剂,包含本发明所述的含氟化合物,且所述冷却剂的沸程为120~140℃,适合于半导体最高制程温度在70~90℃的制程单元。本申请提供的含氟化合物倾点和沸点合适,流动性、导热系数和比热都适合用作半导体制程的冷却剂成分,且温室效应潜能值和臭氧破坏潜能值较低,对环境破坏小。
搜索关键词: 一种 氟化 包含 冷却剂 用途
【主权项】:
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