[发明专利]一种含氟化合物、包含其的冷却剂及用途在审
申请号: | 202111157519.7 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113773176A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 曾一铮;刘星;米欣 | 申请(专利权)人: | 深圳市盈石科技有限公司 |
主分类号: | C07C43/12 | 分类号: | C07C43/12;C07C41/01;C07C41/42;C09K5/04 |
代理公司: | 北京中知星原知识产权代理事务所(普通合伙) 11868 | 代理人: | 张文静;艾变开 |
地址: | 518045 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种含氟化合物、包含其的冷却剂及用途。所述冷却剂,包含本发明所述的含氟化合物,且所述冷却剂的沸程为120~140℃,适合于半导体最高制程温度在70~90℃的制程单元。本申请提供的含氟化合物倾点和沸点合适,流动性、导热系数和比热都适合用作半导体制程的冷却剂成分,且温室效应潜能值和臭氧破坏潜能值较低,对环境破坏小。 | ||
搜索关键词: | 一种 氟化 包含 冷却剂 用途 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市盈石科技有限公司,未经深圳市盈石科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111157519.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种浓香型白酒人工老窖泥制备方法及其应用
- 下一篇:可调节治具