[发明专利]线性分光红外传感芯片及气体检测装置在审
申请号: | 202111164513.2 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113702320A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 白鹏飞;杜鹏渊;李世晓;覃元锋;马浩楠;周国富 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学;彩芯(广州)半导体有限公司 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/01 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 廖慧贤 |
地址: | 510006 广东省广州市番禺区外*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种线性分光红外传感芯片及气体检测装置,本申请的线性分光红外传感芯片包括基板、至少两个检测单元和线性渐变滤光单元。检测单元设置于基板表面,每个检测单元用于检测一种特定气体;线性渐变滤光单元,设置于多个检测单元表面;其中,多个检测单元的排布方向与线性渐变滤光单元的透光性能变化方向一致。本申请的线性分光红外传感芯片通过线性渐变滤光单元将经过气体吸收后的红外光进行分光处理,将不同波段的红外光传输至检测单元进行检测,实现了对多种气体的同时检测,并且,线性分光红外传感芯片结构简单,便于安装与使用。 | ||
搜索关键词: | 线性 分光 红外 传感 芯片 气体 检测 装置 | ||
【主权项】:
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