[发明专利]具有晶体管单元和钳位区的碳化硅器件在审

专利信息
申请号: 202111165703.6 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN114335138A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 约阿希姆·魏尔斯;弗朗茨·希尔勒;沃尔夫冈·扬切尔;大卫·卡默兰德尔;拉尔夫·西明耶克 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/78;H01L29/10
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 康建峰;杜诚
地址: 德国瑙伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种碳化硅器件(500)包括具有源极区(110)和栅电极(155)的晶体管单元(TC)。源极区(110)被形成在碳化硅本体(100)中并且具有第一导电类型。第一低电阻欧姆路径(901)电连接源极区(110)和具有第二导电类型的掺杂区(120)。掺杂区(120)和具有第一导电类型的浮动阱(410)形成pn结。具有第二导电类型的第一钳位区(411)延伸至浮动阱(410)中。第二低电阻欧姆路径(902)电连接第一钳位区(411)和栅电极(155)。
搜索关键词: 具有 晶体管 单元 钳位区 碳化硅 器件
【主权项】:
暂无信息
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