[发明专利]一种微区定位和寻回方法有效
| 申请号： | 202111169977.2 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113899920B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘金超;梁振兴;杨贤锋;尹诗衡;向兴华 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q30/02;G01Q10/00;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 郑州中鼎万策专利代理事务所(普通合伙) 41179 | 代理人： | 林新园 |
| 地址： | 510000*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微区定位和寻回方法，采用两步定位法，在第一步定位中算出网格十字角位置的坐标值，在第二步定位中通过使用显微分析仪器中的标尺的功能，以图像中显示的标尺为参照的测量方法，综合了计算和测量的优点，不仅提高了定位的精度，将距离测量的精度提高了两个数量级，由报道的十微米级提高到百纳米级，而且大大提高了定位计算过程的容错能力，即第一步定位过程中即使定位误差达数十微米级，仍可采用本方法实现百纳米级别的定位精度；此外，应用本方法还可以在同一次测试中，使用一套标记点可定位多个目标位置，可大大提高微区分析的工作效率，同时为微区分析仪器间的关联成像提供了技术支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定位 方法 | ||
【主权项】：
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