[发明专利]一种减小交叉耦合串扰的纳米光栅三轴MEMS陀螺有效
| 申请号： | 202111170211.6 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113916208B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 金丽;王策;李晋华;辛晨光;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米光栅三轴MEMS陀螺技术领域，具体涉及一种减小交叉耦合串扰的纳米光栅三轴MEMS陀螺，包括上层光栅、下层光栅、驱动磁体、底座，所述上层光栅、下层光栅、驱动磁体均设置在底座内，所述上层光栅设置在下层光栅上，所述下层光栅设置在驱动磁体上。本发明通过使用SOI加工方案，同时将陀螺结构实现高度对称的状态，使得x,y轴光栅陀螺的重心位于结构的中心处，有效的避免了交叉耦合对三轴陀螺测试带来的影响，提高了光栅陀螺的灵敏度。同时本发明采用阳极键合和SOI加工工艺，可以实现对面内双层光栅之间的距离精确控制，提高了三轴陀螺的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减小 交叉 耦合 纳米 光栅 mems 陀螺 | ||
【主权项】：
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