[发明专利]一种有机压电薄膜传感器的器件结构及实现工艺在审
| 申请号： | 202111170447.X | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114023872A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 何大伟;朱凯 | 申请（专利权）人： | 上海凸申科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/29;H01L41/193 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 陈慕禾 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机压电薄膜传感器的器件结构以及实现工艺，包括绝缘基材、下电极金属层、有机压电薄膜层和上电极金属层，所述上电极金属层、有机压电薄膜层和下电极金属层按照由上至下的顺序设置，所述有机压电薄膜层将下电极金属层和上电极金属层隔离为绝缘状态，所述上电极金属层的引出线跳下有机压电薄膜层与下电极金属层的引出焊盘连接，所述下电极金属层和上电极金属层通过同一层引出。本发明所述的有机压电薄膜传感器的器件结构，通过一体化成型的方式，将传感器结构和工艺简化，并且改变了传统铆接的引出方式，将上电极和下电极在同一层面引出，使之可以应用于消费电子设备等对成本、性能一致性敏感的应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 压电 薄膜 传感器 器件 结构 实现 工艺 | ||
【主权项】：
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