[发明专利]碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构在审
| 申请号： | 202111170840.9 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114214731A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐淑文;贺贤汉;夏孝平;赖章田;刘海;曹豪杰 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B15/30;C30B15/32 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体设备领域。碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，包括升降机构，升降机构的升降滑台上安装有旋转机构，旋转机构包括一旋转杆，旋转杆与籽晶杆可拆卸连接；旋转杆与籽晶杆上下插接，旋转杆的外壁上螺纹连接有锁紧螺母，锁紧螺母的外壁上设有一环状凹槽；还包括一锁紧圈，锁紧圈包括两个夹紧圈，两个夹紧圈的一端相互铰接，两个夹紧圈的另一端可拆卸连接，两个夹紧圈的内壁设有嵌入环状凹槽的突起；两个夹紧圈的下端设有下端台阶；籽晶杆的顶部设有与下端台阶的顶部相抵的上端台阶，上端台阶的下侧面与下端台阶的顶面相抵。本专利实现了籽晶杆的快速更换。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 专用 籽晶 升降 旋转 机构 | ||
【主权项】：
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