[发明专利]基于FIB设备定制AFM探针的方法及原子力显微镜有效
| 申请号： | 202111172714.7 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113917190B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 董业民;胡康康;黄亚敏;王刘勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于FIB设备定制AFM探针的方法及原子力显微镜。方法包括步骤：提供FIB设备，将针尖基底和悬臂梁基底固定于样品台上并置于FIB设备的工艺腔室内；利用聚焦离子束刻蚀从针尖基底上切取所需长度的针梢，且利用聚焦离子束刻蚀在悬臂梁基底的一端刻蚀出安装面；将针梢的一端放置于安装面上，并利用聚焦离子束沉积将针梢的一端和安装面相固定；利用聚焦离子束刻蚀对针梢进行轰击削尖，以将针梢加工成所需尺寸的针尖而得到所需的AFM探针。本发明利用FIB技术提供了一种针尖高度和曲率半径可控的AFM探针的制备方法，探针制备的灵活性大大提高，可用于定制各种特殊参数的AFM探针以满足不同的检测需求，有助于提高制备良率和降低制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 fib 设备 定制 afm 探针 方法 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
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