[发明专利]一种空间交错混合材料薄膜的制备方法及其在消色差超透镜中的应用

摘要

一种空间交错混合材料薄膜的制备方法及其在消色差超透镜中的应用，首先利用薄硅片加工出多扇区空间沉积掩模，利用该多扇区掩模进行分区遮盖，在超透镜基底上沉积第一种电介质材料薄膜；利用刻蚀技术去除掩模和多余材料后，再更换另一个多扇区掩模，在剩余扇区沉积出相同厚度的第二种电介质材料薄膜；最后通过电子束光刻等微纳技术加工出该超透镜的纳米结构。本发明为制备高效率双波长消色差超透镜并用于双光子显微成像及双光子STED超分辨微内窥成像提供一种新的思路，该超透镜实现红外波段激发光和可见波段荧光或损耗光高效率共焦，从而有望用于活体深层生物组织的超分辨微内窥成像中，进一步实现低侵入损伤和高分辨率的动态实时超分辨成像。