[发明专利]一种聚合物少模波导及其制备方法在审
申请号: | 202111180078.2 | 申请日: | 2021-10-11 |
公开(公告)号: | CN113866877A | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 胡贵军;于成 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12;G02B6/122 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 刘世纯 |
地址: | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: |
本发明公开了一种聚合物少模波导及其制备方法,属于平面光子器件技术领域,从下到上,依次由二氧化硅衬底、在二氧化硅衬底上旋涂的少模波导芯层、在少模波导芯层上旋涂的上包层组成,所述少模波导芯层采用稀土掺杂有源聚合物材料,所述上包层采用无掺杂的聚合物材料;所述稀土掺杂有源聚合物材料是将稀土纳米粒子通过物理方法均匀掺杂到SU‑8聚合物材料中制备的芯层增益介质,所述稀土纳米粒子为NaYF |
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搜索关键词: | 一种 聚合物 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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