[发明专利]一种光刻机的气缸压臂式上下板装置在审
| 申请号： | 202111193909.X | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN113900360A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 王泽明;邓超略;陈蓬柱 | 申请（专利权）人： | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人： | 王振佳 |
| 地址： | 411100 湖南省湘潭*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机的气缸压臂式上下板装置，包括位于机架上的上板平台和气缸压臂上下板机构，上板平台位于气缸压臂上下板机构的一侧，气缸压臂上下板机构包括真空吸附鼓、尾板夹压臂、压板滚轮压臂、首板夹压臂和出板夹压臂，尾板夹压臂、压板滚轮压臂和首板夹压臂设置在真空吸附鼓的上方，出板夹压臂位于真空吸附鼓远离上板平台的一侧；真空吸附鼓的两端分别通过轴承固定在机架的两侧板上，且真空吸附鼓的一端与第一电机连接，真空吸附鼓的鼓面上设有燕尾槽，燕尾槽上设有固定板夹和活动板夹，活动板夹通过滑块与燕尾槽活动连接。本发明采用上述结构的光刻机的气缸压臂式上下板装置，稳定性好，提升了上下板的速度，制版效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 气缸 压臂式 上下 装置 | ||
【主权项】：
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