[发明专利]一种异带泵浦1550nm的光子级联VCSEL激光器及制备方法在审
| 申请号： | 202111194382.2 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN113937619A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 王智勇;代京京;兰天;李胜南 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 林聪源 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种异带泵浦1550nm的光子级联VCSEL激光器及制备方法，衬底上的VCSEL芯片外延结构自衬底侧向上依次包括：N型DBR层、N型全反射DBR层、稀土元素掺杂层、N型波导层、半导体量子阱层、P型波导层、氧化层、P型全反射DBR层和P型DBR层；N型全反射DBR层、N型波导层、半导体量子阱层、P型波导层和P型全反射DBR层构成第一激光谐振腔，N型DBR层、稀土元素掺杂层、氧化层和P型DBR层构成第二激光谐振腔，第一激光谐振腔和第二激光谐振腔形成光子级联复合腔。本发明通过稀土元素掺杂层实现能级跃迁过程中能量的高效利用，提高发光效率，并实现1550nm波长的激光输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异带泵浦 1550 nm 光子 级联 vcsel 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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