[发明专利]一种宽禁带氧化物肖特基结β核电池单元的制备方法在审
申请号: | 202111194615.9 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN114203325A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 吴巍炜;张永峰;胡文文;张劲松;徐盼;周春林;杨毓枢;王旭 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学芜湖研究院 |
主分类号: | G21H1/06 | 分类号: | G21H1/06 |
代理公司: | 兰州嘉诺知识产权代理事务所(普通合伙) 62202 | 代理人: | 吴迪 |
地址: | 241000 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明属于半导体器件技术与核科学技术领域,具体涉及一种宽禁带氧化物肖特基结β核电池单元的制备方法,通过两步水热法在基底上生长n型β‑Ga |
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搜索关键词: | 一种 宽禁带 氧化物 肖特基结 核电 单元 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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