[发明专利]阶梯凸块封装结构及其制备方法有效
申请号: | 202111195234.2 | 申请日: | 2021-10-14 |
公开(公告)号: | CN113644041B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 何正鸿;徐玉鹏;钟磊;李利 | 申请(专利权)人: | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 梁晓婷 |
地址: | 315400 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种阶梯凸块封装结构及其制备方法,涉及半导体封装技术领域,该阶梯凸块封装结构通过在底接金属层上设置导电金属柱,在导电金属柱的顶端设置焊料承接柱,在焊料承接柱外包覆有焊球,其中焊料承接柱的两侧均呈阶梯状,提升了焊料承接柱与焊球之间的接触面积,从而提升了焊球的结构强度,避免焊球裂开的问题,提升焊接时的可靠性。且焊料承接柱的顶部宽度小于其底部宽度,使得焊料承接柱实现了上小下大的结构,使得焊接时焊料承接柱的顶部能够靠近焊盘的表面,而焊料承接柱的顶部宽度较小,在焊料承接柱与焊盘接触后,能够避免进一步挤压焊料,从而可以大幅减小锡球与焊盘之间的接触面积,避免了焊料大幅向外扩散而导致的桥接问题。 | ||
搜索关键词: | 阶梯 封装 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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