[发明专利]三甲基镓在线分析装置及其分析方法有效
| 申请号： | 202111195282.1 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN113945669B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 李强强;俞冬雷;郑锐 | 申请（专利权）人： | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/06 | 分类号： | G01N30/06;G01N30/20 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三甲基镓在线分析装置及其分析方法，可进行连续多次取样，样品回收也方便高效，在分析需求之前即可对管道进行前处理，结果可在1小时内完成，无需拆卸取样瓶，尾气接收也方便，分析结果还进行后置换，避免对后续分析干扰。本发明有多条线路和多个阀，组合多个工艺路线，并联多根分析管路，短时间可进行多工艺路线的样品在线分析，这样可实现前置换、空白测试、取样、分析、尾气接收、样品回收、后置换共七个功能步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 甲基 在线 分析 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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