[发明专利]用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法在审
| 申请号： | 202111196182.0 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN114038989A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 孙汉聪;潘佳政;李金朋;孙国柱;王华兵;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 网络通信与安全紫金山实验室 |
| 主分类号： | H01L39/02 | 分类号： | H01L39/02;H01L39/22;H01L39/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 蔡抒枫 |
| 地址： | 211111 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法。在衬底表面形成铝金属薄膜层。通过第一掩膜对所述铝金属薄膜层进行图案化处理形成铝金属电路层。在所述铝金属电路层远离所述衬底的表面形成氧化铝薄膜层。在所述衬底的表面制备超导材料薄膜层，所述超导材料薄膜层覆盖所述氧化铝薄膜层以及所述衬底的表面。形成第二掩膜层，通过所述第二掩膜层对所述超导材料薄膜层进行图案化处理以获得图案化的超导材料电路层，所述超导材料电路层与所述铝金属电路层在所述衬底的投影部分重叠。清洗去除所述第二掩膜层，获得所述约瑟夫森结。上述制备方法，可以制备大面积的约瑟夫森结。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 超导 量子 电路 约瑟夫 制备 方法 | ||
【主权项】：
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