[发明专利]一种铜铌复合射频超导谐振腔的制备方法有效
| 申请号： | 202111197158.9 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN113973419B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 皇世春;何源;翟浩银;徐孟鑫;张升学;杨自钦;郭浩;刘鲁北;李春龙;王志军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所;兰州瑞源机械设备有限公司 |
| 主分类号： | H05H7/18 | 分类号： | H05H7/18;H01P11/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵静 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜铌复合超导谐振腔的制备方法。该方法包括下述步骤：1)制备纯铌超导腔；2)对步骤1)制备的纯铌超导腔内外表面依次进行机械抛光、清洗液清洗、超声波超纯水清洗、酸液抛光、清除材料表面的残酸；清洗残酸后的超导腔外表面依次还进行喷砂和反镀电清洗处理；3)纯铌超导腔外表面铌铜间共晶键结合结构的制备：a、在纯铌超导腔外表面电铸过渡金属层：b、在所述过渡金属层的金属表面电铸铜；c、将铌‑过渡层金属‑铜层真空高温退火，通过过渡金属在铜和铌层产生原子间共晶键结合；4)在步骤3)制备的超导腔外表面的铜层上电铸厚铜层；5)对步骤4)制备得到的超导腔外表面精加工，即得所述铜铌复合超导谐振腔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 射频 超导 谐振腔 制备 方法 | ||
【主权项】：
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