[发明专利]半导体结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111198977.5 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN114284295A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 杨柏峰;杨世海;吕士濂;黄家恩;王奕;林佑明 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/1159 分类号: H01L27/1159;H01L27/11597;H01L27/11587
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 薛恒;徐川
地址: 中国台湾新竹科学工业园区新*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种半导体结构,包括存储阵列、阶梯单元、导电桥接结构、字线驱动器以及导电布线。存储阵列设置在半导体结构的阵列区中并且包括字线。阶梯单元配置于被阵列区围绕的阶梯区中。阶梯单元包括从存储阵列的字线延伸的第一阶梯台阶和第二阶梯台阶。第一阶梯台阶和第二阶梯台阶彼此面对。导电桥接结构电连接第一阶梯台阶与第二阶梯台阶。字线驱动器设置于存储阵列与阶梯单元下方,其中字线驱动器的中央部分与阶梯单元的中央部分交叠。导电布线从第一阶梯台阶和第二阶梯台阶延伸到字线驱动器。
搜索关键词: 半导体 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
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